高性能電子光學(xué)系統(tǒng)

二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)＊

高靈敏度: 高效PD-BSD, 超強(qiáng)的低加速電壓性能，低至100 V成像

大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析

性能優(yōu)異

壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測器(UVD)＊

開倉室快速簡單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：

選配附件

規(guī)格

項目 內(nèi)容

分辨率 1.2 nm @ 30 kV

3.0 nm @ 1 kV

2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1

3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)

30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍 ZrO /W 肖特基式電子槍

加速電壓 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))

著陸電壓 減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

最大束流 > 200 nA

探測器 低位二次電子探測器

低真空模式*2 真空范圍: 10 - 300 Pa

馬達(dá)臺 馬達(dá)臺控制 5 - 軸自動 (優(yōu)中心)

可動范圍 X：0～100mm

Y：0～50mm

Z：3～65mm

T：-20～90°

R：360°

最大樣品尺寸 最大直徑: 200 mm

最大高度: 80 mm

選配探測器

高分辨率頂位二次電子探測器＊1

高靈敏度低真空探測器 (UVD)

5分割半導(dǎo)體探測器 (PD-BSD)*3

能譜儀 (EDS)

波譜儀 (WDS)

背散射電子衍射探測器 (EBSD)

*1：

減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測器）

*2：

低真空功能（包含5分割半導(dǎo)體探測器）

來源：深圳市心怡創(chuàng)科技有限公司

聯(lián)系電話：400-616-7676轉(zhuǎn)1724

來源鏈接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH105026/C614898.htm